美光新加坡Fab 10工厂扩建完成 下半年投产96层3D NAND
发表于2019-08-18 08:52:49
摘要: 原标题:美光新加坡Fab 10工厂扩建完成 下半年投产96层3D NAND 美光本周在新加坡举办了庆祝 Fab 10 工厂扩建顺利完成的仪式。尽管新的洁净室不会增加该公司

  原标题:美光新加坡Fab 10工厂扩建完成 下半年投产96层3D NAND

  美光本周在新加坡举办了庆祝 Fab 10 工厂扩建顺利完成的仪式。尽管新的洁净室不会增加该公司每月的晶圆产能,但却能让美光技术使用更先进的 3D NAND 工艺技术,生产具有更高层数和比特位密度的产品。实际上,Fab 10 Expansion 是由多个部分组合而成的,包括了此前的 Fab 10N 和 Fab 10X 设施。

  官方指出,新 3D NAND 生产设施占地 16.5 万平米。至于洁净室的空间、以及其它扩展功能部分,美光暂未透露。

  目前该工厂正在设备安装阶段,预计可在 2019 下半年(未来 4-5 个月)投产 96 层 3D NAND 。至于具体的生产安排,将依实际需求而定。

  在设备齐全之后,这里也不会增加任 的晶圆容量,而是容纳更多 3D NAND 层数制造所需的、更先进的工艺设备。

  据悉,随着 3D NAND 层数的增加,每片晶圆都需要在化学气相沉积(CVD)机器中耗费更多的时间,意味着蚀刻的工艺流程会被拖得更久。

  此外,美光还会运用更多 的生产技术。为了保持晶圆处理数量的一致性,闪存制造商必须在洁净室中加装额外的 CVD 和蚀刻机,这对设施空间提出了额外的要求。

  综上所述,尽管 Fab 10 Expansion 可能不会提升美光新加坡工厂的每月晶圆数量,但确实可在 NAND 闪存生产方面实现一定的增长。

  最后,除了新的制造工厂,美光还将扩大在新加坡的研发业务。其 NAND 卓越中心着力进行技术研发和产品工程,以进一步提升 Fab 10 工厂的产能和良率。

投稿:lukejiwang@163.com
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